X射线 + 断层扫描检测系统
X-Ray + CT Systems
名称：高性能X射线检测系统
型号：x|aminer
原产地：德国
行业：适用于半导体封装和线路板组装等电子行业
名称：微焦点X光检测系统
型号：microme|x
原产地：德国
行业：适用于电子行业产品检测
名称：微焦点工业CT|微米CT
型号：v|tome|x s
原产地：德国
行业：适用于工业CT检测
名称：新型纳米工业CT
型号：nanotom
原产地：德国
行业：适用于纳米工业CT检测
超声波检测系统
C-SAM Sytems
名称：台式超声波扫描仪
（超声波扫描显微镜）
型号：IS-201
原产地：日本-IKK
行业：适用于微电子行业产品检测
名称：标准型超声波扫描仪
（超声波扫描显微镜）
型号：IS-350
原产地：日本-IKK
行业：适用于各类电子行业产品检测
名称：定制型超声波扫描仪
（超声波扫描显微镜）
型号：IS-定制型
原产地：日本-IKK
行业：适用于各类材料行业产品检测
x|aminer具有亚微米级高分辨率X射线检测系统，最适用于半导体封装和线路板组装等电子行业领域产品的内部缺陷检测和失效分析。标配超高性能的开放式亚微米级160kVX射线管，细节分辨力达到1μm，高分辨率的两百万像素数字成像链、最大几何放大倍率可达2100倍，可对被测物进行最大倾斜70°，旋转360°任意范围内的视角进行检测。
软件可对BGA、CSP进行手动及半自动程序检查检测，并自动生成检测数据报告
系统放大倍数和分辨率
几何放大倍数：可达2100倍
细节分辨能力：<1微米
亚微米级X射线管
类型：开放管，透射式管头，170度辐射角，准直功能
最大管电压：160kV
最大管功率：20W
阳极靶 ：无毒钨靶，可旋转调整以便多次使用
阴极灯丝：钨丝，经预调的即插式结构，更换简单快速
真空系统：涡轮分子真空泵和无油式低真空泵
检测平台
总体结构：高精度、无振动、5轴同步驱动
最大检测区域：410mm×410mm
最大工件尺寸/重量：410mm×410mm/5kg
高放大倍率下倾斜视角：0°~70°无级调节
旋转角度：360°连续旋转
系统尺寸
尺寸(WxHxD)：2020 mm x 1920 mm x 1860 mm (不包括控制台, 包括300mm(11.8″)可拆卸后伸展台)
最小运输宽度：1560 mm
高度可调控制面板(D)：00mm(19.5″)
重量：约2300 kg
射线防护：安全防护室??铅钢防护，铅玻璃，辐射泄漏率<1μSv/h
硬件选配
倾斜/旋转装置：倾斜±45°，连续旋转360°，承重工件2kg
平板探测器 ：可替换图像增强器
CT功能：需CT用高精度旋转装置与平板探测器
如需更多信息，请联系我们！
86 -21 -68759943
tops@topshk.cn
——亚微米级高分辨率自动化X光检测系统，用于焊点及电子元器件的二维检测和计算机断层扫描成像(CT)。
系统放大倍数和分辨率
几何放大倍数：可达2,160倍
总放大倍数：不使用软件放大时可达23,320倍
细节分辨能力：< 1微米
X射线管
类型：开管，发射式管头，170度锥角，准直功能
阳极：无毒钨靶，可旋转以多次使用
阴极：钨丝；预校灯丝快锁式阴极(座)，即插即用。
真空系统：无油式涡轮分子真空泵
最大管电压：180kV
最大管功率：20W
剂量率稳定性：<0.5% / 8h
探测器
数字图像链：全数字图像：高分辨率4″二视场图像增强器，2兆像素数字照相机和24″TFT显示器
检测台
总体结构：高精度，无振动轴
最大检测区域：460mm x 360mm (可旋转时) 610mm x 560mm (无旋转时)
工件最大尺寸：680mm x 635mm
工件最大重量：10kg
最大放大倍数时的倾斜扫描视野：0°-70°视角无级调节，
旋转角：0°-360°
系统尺寸
尺寸(WxHxD)：2020 mm x 1920 mm x 1860 mm (不包括控制台, 包括300mm(11.8″)可拆卸后伸展台)
最小运输宽度：1560 mm
高度可调控制面板(D)：500mm(19.5″)
重量：约2300 kg
射线防护：安全防护室??铅钢防护，铅玻璃，辐射泄漏率<1μSv/h
CT功能（可选）
2D/3D(CT)操作升级包
CT-单元：精确的旋转轴
三维图像采集/重建软件：3D|arv
最大几何放大倍数(CT)：300倍
最大体元分辨率：3μm，取决于工件尺寸
可视化软件：Volume Viewer
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——可同时进行2D射线检测和3D CT检测，适用于材料、地质勘探、塑料工程、传感/电气、测量工程等领域菲尼克斯v|tome|x s 是一款多功能高分辨率微焦点工业CT|微米CT系统，可用于2D X射线检测和3D CT（微米CT和纳米CT）检测，同时实现3D测量。设备具有很高的灵活性，v|tome|x s能够装配180kV/15W的高功率纳米焦点X射线管或240kV/320W微米焦点射线管。无论是用高分辨率扫描低射线吸收率工件，还是用3D CT分析高射线吸收率工件，该系统都非常高效、可靠。
| 产品规格 | |
| 最大管电压 | 240kV |
| 最大管功率 | 320W |
| 细节分辨能力 | 1um |
| 焦点到工件的最小距离 | 4.5mm |
| 最大像素分辨率 | <?2um(3D),纳米CT配置了<?1um（3D）的像素分辨率（依工件而定） |
| 几何放大倍数（2D） | 1.46倍到180倍 |
| 几何放大倍数（3D） | 1.46倍到100倍 |
| 工件最大尺寸（高×直径） | 420mm×135mm |
| 工件最大重量 | 10kg |
| 操作台 | 稳定而灵活的5轴操作台，配备高精度转台 |
| 2D?X射线成像 | 支持 |
| 3D?CT功能 | 支持 |
| 先进的面数据提取技术 | 支持（可选） |
| CAD比较+三维测量 | 支持（可选） |
| 系统尺寸 | 2330×1690×1480mm3 |
| 系统重量 | 2900kg |
| 射线防护安全 | 全封闭射线防护室，符合德国R?V和美国标准CFR1020.40。辐射剂量率<1?uSv/h |
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——适用于材料科学、传感/电气工程、测量技术、地质/生物等领域。全新的菲尼克斯nanotom 是一款适合于科学和工业领域的纳米焦点CT系统，3D测量技术广泛适用于各种样品采用特别设计的180kV/15W高功率纳米焦点X射线管，配备了内置水冷系统和温度稳定型数字探测器。该系统具备独特的空间分辨率和对比度分辨率能适用于广泛的样品和应用领域：小到小型的生物、地质样本；中到中型的工业模块，例如塑料射嘴或注塑模型；再到金属嵌件。全自动执行CT扫描、重建和过程分析保证了它的易用性、快捷性以及CT结果的可靠性。一经扫描，全3D的CT信息为各种分析提供了可能。例如，非破坏性可视化切片、任意截面的观察、自动空洞分析。当整个几何物体扫描后，就能实现对复杂物体的精确3D测量甚至能够在一小时内自动生成一份检测报告。
产品规格
| 最大管电压 | 180kV |
| 最大管功率 | 15W |
| 细节分辨能力 | 200nm |
| 射线源到探测器距离 | 150mm到600mm |
| 最大像素分辨率 | <300nm（依工件尺寸而定） |
| 几何放大倍率（3D） | 1.5倍-300倍 |
| 最大工件尺寸（高度×直径） | 250mm×240mm |
| 最大工件重量 | 3kg |
| 图像链 | 7M数字平板探测器 |
| 2D?X射线成像 | 不支持 |
| 3D?CT | 支持 |
| 先进的表面提取技术 | 支持（可选） |
| CAD比较+三维测量 | 支持（可选） |
| 系统尺寸 | 1980×1600×900mm3 |
| 系统重量 | 1900kg |
| 射线防护安全 | 全封闭射线防护室，符合德国RoV和美国标准?CFR1020.40。辐射剂量率<1?uSv/h |
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? 最新设计低噪音线性伺服马达驱动系统1000mm/sec的高速扫描
? 0.5μm 编码器分辨率
? 3轴，4轴或5轴系统
? 有效扫描范围: 350mm x 350mm (300mm硅薄片检验，同时可测2枚JEDEC标准托盘)
? 仪器尺寸:680(W) x 800(D) x 1320(H)mm
? 操作系统: Windows 7 / 64bit
双探头（2ch）同时数据收集功能
? 效率和生产力的强化加大
? 具有不同频率的探头
? 具有不同焦点的探头
? 2个焦点测量轴可同步测量也可分离独立测量
? 脉冲反射法和穿透法的两种手法可同步使用
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